微纳加工与测试平台

微纳加工与测试平台作为约炮 深圳研究生院大型仪器设施的关键构成部分，是校内外开展教学与科研工作的重要基地。该平台充分融合约炮 的综合学科优势以及粤港澳大湾区的电子信息产业优势，致力于打造一流的微纳加工测试平台。

研究领域支撑

平台为多个前沿领域的研究提供有力支撑，包括新型半导体光电器件、存算一体芯片、后摩尔三维集成、柔性电子系统等。

平台设备与工艺

平台配备了80余台/套半导体和集成电路微纳加工相关的设备仪器，设备原值超过三千万元，具备完备的工艺模块。

技术成果与合作交流

平台依托约炮 的综合学科优势和粤港澳大湾区的电子信息产业优势，与深圳芯邦科技股份有限公司机联合成立存算一体联合实验室，聚焦存算一体芯片的关键技术攻关、产品研发；与香港科技大学协同攻关场序显示技术，为我国打破美日在光机领域的垄断奠定了底层共性技术基础。相关技术已荣获多项国家及地方级奖项，并且作为粤港澳大湾区的科创代表，在科创合作模式及平台人才培养方面，获得了CCTV13《东方时空—新质生产力》专题报道以及 CCTV2《经济新闻联播—加油，科研人》报道。

人才培养与社会服务

平台目前已累计培养600余名学生，为知名企业和国内外科研机构输送了大量优秀人才。同时，平台积极承担政企合作交流、公益性科普参观等活动，加强与行业内外的联系与互动。

欢迎访问微纳加工与测试平台官网Center of Nanofabrication and Test